太陽(yáng)能是各種可再生能源中最重要的基本能源，生物質(zhì)能、風(fēng)能、水能等都來(lái)源于太陽(yáng)能。太陽(yáng)能電池是是一種通過(guò)光伏效應(yīng)將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿囊环N裝置，是利用太陽(yáng)能的一種重要形式。

目前，人們根據(jù)所選用的半導(dǎo)體材料將太陽(yáng)能電池應(yīng)用技術(shù)分為晶硅和薄膜兩大類(lèi)。晶硅太陽(yáng)能電池在現(xiàn)階段的大規(guī)模應(yīng)用和工業(yè)生產(chǎn)中占據(jù)主導(dǎo)地位，但由于其成本過(guò)高，限制了其發(fā)展。相比晶硅等其它太陽(yáng)能電池，薄膜太陽(yáng)能電池具有生產(chǎn)成本低、原材料消耗少、弱光性能優(yōu)良等優(yōu)勢(shì)。隨著世界能源緊缺，薄膜太陽(yáng)能電池作為一種光電功能薄膜，可以有效地解決能源短缺問(wèn)題，而且無(wú)污染，還可以實(shí)現(xiàn)光伏建筑一體化，易于大面積推廣。

非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池

非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率較低，實(shí)驗(yàn)室轉(zhuǎn)換效率只有13％，但工藝成熟、成本較晶硅低廉、制備方便，適于大規(guī)模生產(chǎn)。

非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池通常為疊層結(jié)構(gòu)，玻璃基板上沉積了透明導(dǎo)電膜(transparentconductiveoxide，TCO)層、非晶硅層(a—Si層)和背電極層(Al／ZnO層)3層薄膜，其中非晶硅層通過(guò)磁控濺射法沉積。

相對(duì)于單晶硅太陽(yáng)能電池，非晶硅薄膜是一種極有希望大幅度降低太陽(yáng)電池成本的材料。非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池具有諸多優(yōu)點(diǎn)使之成為一種優(yōu)良的光電薄膜光伏器件。(1)非晶硅的光吸收系數(shù)大，因而作為太陽(yáng)能電池時(shí)，薄膜所需厚度相對(duì)其他材料如砷化鎵時(shí)，要小得多；(2)相對(duì)于單晶硅，非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池制造工藝簡(jiǎn)單，制造過(guò)程能量消耗少；(3)可實(shí)現(xiàn)大面積化及連續(xù)的生產(chǎn)；(4)可以采用玻璃或不銹鋼等材料作為襯底，因而容易降低成本；(5)可以做成疊層結(jié)構(gòu)，提高效率。